Die hochpräzisen Maschinen zur Halbleiterfertigung sind Servomotoren. Servos bieten die geregelte Bewegung, die zum Betrieb von Siliziumwafern und zur Steuerung von Prozessgeräten erforderlich ist, und garantieren hervorragende Erträge in einer Branche, in der Genauigkeit im Nanometerbereich, außergewöhnliche Geschwindigkeit und perfekte Wiederholbarkeit von entscheidender Bedeutung sind. Sie sind eine grundlegende Technologie, die das Mooresche Gesetz ermöglicht.
